单晶硅自身对身体没有害，但出产单晶硅的过程中，会因长期接触到酸、磷等影响身体健康的化学物质，而直接对身体健康形成必定危害。
单晶硅归于一种常见的半导体资料，多以硅为质料制成，一般没有毒性和放射性，自身也不会发生辐射，因而一般对身体没有危害。但制造单晶硅的过程中，要使用到酸性、碱性、放射性物质，以及有毒的三氯化氧磷等，挥发到空气中的游离磷、五氧化二磷等化学成分对健康有害。所以假如长期暴露在含磷的环境中，就会导致缓慢中毒，还存在必定的致癌和致畸危险。
此外，因为有毒物质进入体内首要通过肝脏、肾脏代谢，故还可能会随同肝肾危害。若血液中的磷增多，就会下降血液中钙的含量，从而导致低血钙症，引起神经振奋，呈现手足痉挛、抽搐、骨质疏松等症状。若体内钙缺少较为明显，还可形成体内矿物质失衡。
