单晶硅本身没有毒性，正常情况下不会对人体产生危害，但在工艺流程中因为会使用一些强电磁辐射机器，可能会对人体产生辐射作用，同时单晶硅在加工后会产生粉末，若吸入过多，可能会造成尘肺、硅肺等疾病。
如果只是单纯正常使用加工完成的单晶硅，通常不会对人体产生非常明显危害，但如果患者长期在单晶硅制作环境中办公，有几率会使吸入过多含二氧化硅或其他有害于人体健康的物质的粉尘，而引起肺部病变，出现硅肺病等疾病，可出现咳嗽、胸闷、胸痛等症状，严重者会出现呼吸功能衰竭、持续高热。因此，如果患者需进行有关工作或需在相关环境当中，需做好严密的个人保护的方法，如佩戴防尘面具、防护服和手套。如果患者患有硅肺等疾病，目前并没有有效治疗方法，只可以通过氧气吸入治疗帮助患者缓解呼吸困难症状，也可利用参麦注射液、克矽平等药物缓解病情发展，控制炎症反应。
另外，如果患者需对单晶硅来加工，需严控粉尘含量，假如慢慢的出现身体不适，应及时前往医院检查，并且建议患者养成定期体检的习惯，可有效保障身体健康。
